用來獲得真空的器械稱為真空泵。根據泵的工作原理，真空泵可分為兩大類。

(1)氣體傳輸泵

這類泵的工作原理是將氣體由一方傳輸到另一方，然后排出泵外。例如，旋片式真空泵、水環泵、蒸氣噴射泵、羅茨泵、油擴散泵、渦輪分子泵等。

(2)氣體捕集泵

這類泵的工作原理是利用各種吸氣作用將氣體吸附，暫時或永久地儲存于泵內。如欽升華泵、濺射離子泵，用硫酸、五氧化二磷吸附水蒸氣的吸氣劑泵，用冷阱在低溫下捕集水蒸氣的低溫泵等。

真空系統是由真空泵、真空閥、真空計及其他元件如冷阱等按一定要求組合而成的具有所需抽氣功能的密閉系統.凍干中所采用的兩種典型的真空系統，一種是用P2O5吸溫劑吸附從干燥箱中升華(或蒸發)出來的水蒸氣，用油擴散泵抽除漏入系統的或干燥過程中產生的不凝性氣體;另一種是用冷阱捕捉水蒸氣，用油封旋轉泵作前級泵，羅茨泵(機械增壓泵)作主泵，抽

除漏入的或干燥過程中產生的不凝性氣體。這兩種真空系統都能保證干燥室處在凍干所需的真空狀態。